深圳清华大学研究院超滑技术研究所（简称 超滑所 ）是郑泉水院士及其团队于2018年9月在深圳市政府、深圳市坪山区政府和清华大学共同支持下成立的结构超滑研究机构。超滑所致力于颠覆性技术和源头创新技术的研发，建设发展超滑技术创意和研发中心，助力深圳成为创新高地，成就改变世界的创新创业者。

2019年9月，超滑所注册成立产业化公司深圳清力技术有限公司（FrictionX，简称 清力 ），以此为依托开展企业化运作，建设发展将结构超滑技术成果推向市场的各项能力。

超滑所（暨清力技术）坐落在深圳国家高新区两核之一的坪山区，依托深圳市 双区 优势，以 ‘零’摩擦改变世界，造福人类 为愿景，以 为客户创造价值，与员工共同成长，求实创新，开放共赢，乐观坚韧，尊重互助 为核心价值观，正在将基础科研成果推向产业化应用。同时，超滑所负责创建和全权管理运营深圳超滑技术平台。

| 发展方向

超滑所未来5年的主要研究方向，聚焦在研发若干基于结构超滑体系的、满足重大国家需求或具有重大市场前景的革命性技术产品，如基于结构超滑的微机电系统（MEMS）、微发电机、电接触关键元器件、光学平台、精密轴承、微纳传感器、下一代存储技术等。这些产品将拥有极高的俘能或节能效率、极高品质、极高寿命和结构紧凑等特点。另外，超滑所已建设并发展了自主管理的结构超滑加工平台。

超滑所正处于快速发展时期，5年内将引进和打造总规模不少于200人的专业团队，涵盖研发、市场、知识产权、实验室管理、行政、财务等各项职能领域，外加若干博士后（在北京清华大学或深圳）。欢迎有志于通过结构超滑技术改变世界的青年俊才加入。

| 科研条件

超滑所实验室暨深圳超滑技术平台拥有结构超滑研发和微纳加工设备及能力，并对外开放服务。平台总使用面积3700平方米，其中洁净实验室面积达1000平方米（百级洁净区130平方米，千级洁净区870平方米），包括一条完备的3-6英寸超滑MEMS/NEMS微纳器件加工研发线，其中部分设备可实现8英寸基片加工。

深圳超滑技术平台设备一览

台拥有光刻设备、平薄膜沉积设备、刻蚀设备、表征测试设备、器件后道封装设备以及自主研发的超滑实验设备等共计200余台套设备，其中40余台主要设备包括：

1.图形化设备：电子束曝光、激光直写、台式接触式光刻机、桌面式光刻机等；

2.薄膜沉积设备：LPCVD、磁控溅射、电子束蒸发镀膜、PE-ALD、PECVD等；

3.刻蚀设备：ICP、RIE、IBE、DRIE深硅刻蚀（BOSCH工艺）等干法刻蚀设备和满足体硅、金属氧化物、金属等的湿法刻蚀设备，以及相配套的二氧化碳超临界释放设备；

4.表征和测试设备：AFM、台阶仪、SEM、FIB、共聚焦显微镜、白光干涉仪、红外热成像仪、FEMTO-TOOLS微纳力学测试仪、超高速相机、3D多普勒激光测振仪、DC/RF探针台（60GHZ）、网络分析仪（60GHz）、半导体分析仪、阻抗分析仪以及高精度电学仪表等；

5.器件封装设备：晶圆减薄，CMP抛光，电镀（Au、Ag、Cu、Ni、Sn等），晶圆键合，贴片机、划片机，打线机，固晶机，激光焊接机等；

随着深圳超滑技术平台的落成运营，在团队的努力下，结构超滑工艺方面已取得诸如实现石墨岛批量制造、石墨岛从镀膜-光刻-IBE刻蚀的加工等重要突破。