职位详情
EPI 工艺工程师 / 资深工程师 / 主管
20.8-54.1K
上海-
更新 2026-07-24 浏览 69
职位详情
  • 招 5 人
  • 不限性别
【岗位职责】 核心职责(按职级由深到浅) 1. 工艺开发与量产维护(全员核心) 负责 Si/SiGe/III‑V 外延(EPI)工艺 开发、参数优化、窗口建立与稳定化。 承接 14nm/7nm / 特色工艺(FinFET、BCD、功率器件) EPI 层工艺定义与验证。 制定 / 更新 SOP、BKM、FMEA、控制计划,主导工艺能力分析(Cpk/Ppk)。 日常监控 膜厚、均匀性、掺杂、缺陷、应力、晶格质量,保证批次稳定性与良率。 快速处理 量产异常(lot hold、defect excursion、电性漂移),主导 RCA、制定并跟踪改善措施。 2. 良率提升与技术攻坚(42 级重点;43/44 级主导) 针对 EPI 缺陷(颗粒、位错、层错、表面粗糙度、外延层厚度不均) 进行根因分析与改善。 与 PIE、设备、量测、蚀刻、薄膜等模块协同,解决 器件电性、漏流、击穿、可靠性 相关 EPI 问题。 推动 DOE、统计制程控制(SPC)、工艺窗口拓宽、cost down 项目。 负责 新设备 / 新腔体验证、新材料导入、新工艺评估,输出技术报告与风险评估。 3. 团队管理与资源协调(43/44 级) 制定团队工作计划、排程、绩效评估、技能培训与梯队建设。 主导 EPI 产能规划、机台利用率提升、人力 / 设备资源协调。 跨部门对接:PIE、质量、设备、采购、研发、客户,推动问题闭环与项目交付。 负责 技术文档、专利、经验沉淀,组织内部分享与技术评审。 4. 安全、合规与持续改善(全员) 严格执行 EHS、ESG、无尘室规范,杜绝安全事故与污染事件。 参与 内审、客户稽核、体系审核(ISO9001/14001/45001) 准备与整改。 推动 6S、可视化、标准化、精益生产,提升现场效率与管理水平。 【任职要求】 任职要求(42–44 级统一框架,逐级加码) 1. 学历与专业 • 硕士及以上,微电子、半导体物理、材料、化学、电子工程等相关专业。 • 44 级可放宽至优秀本科 + 10 年以上 EPI 经验。 2. 经验要求(关键) • 42 级(资深工程师):3–5 年 12 寸 FAB EPI 工艺经验,熟悉 Si/SiGe 外延,有 FinFET/BCD 量产经验优先。 • 43 级(主管):5–8 年 EPI 经验,2 年以上带团队,主导过良率提升 / 异常攻关项目。 • 44 级(高级主管 / 经理):8 年以上 EPI 经验,3 年以上管理经验,熟悉先进制程 EPI 开发与量产管理。 3. 硬技能 • 精通 EPI 外延原理、设备(ASM/Epsilon、Veeco、Applied Materials)、工艺参数、量测(SEM、AFM、XPS、椭偏、四探针)。 • 熟悉 半导体器件物理、FinFET/FD‑SOI / 功率器件 EPI 结构。 • 熟练 DOE、SPC、RCA、8D、FMEA 等质量与改善工具。 • 熟练 Excel、Minitab、JMP、CAD、MES 系统。 • 英语读写流利,可阅读英文资料、撰写报告、简单口语沟通。 4. 软素质 • 极强的 问题分析、逻辑推理、数据驱动决策 能力。 • 抗压强、能 夜班 / 轮班、适应无尘室环境。 • 优秀的 跨部门沟通、团队协作、项目推动 能力。 • 严谨、负责、保密意识强、结果导向。 【岗位备注】 见岗位职责 【目标公司】 暂无
公司信息
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
· · 通信/电子/半导体/硬件
浦东新区临港
职介网温馨提示
求职过程请勿缴纳费用,谨防诈骗!若信息不实请举报。 立即举报
公司问答
我要提问
对此职位有疑问?快来问问吧 !
相似职位
热模锻锻造技术工程师
15-25K
重庆-重庆 不限学历
重庆本创机械有限公司
2026-08-24
开发工程师(外包)
14-20K
北京-北京 本科学历 3年以上经验
抖音视界有限公司
2026-08-04
机器人测试工程师
20.8-33.3K
湖南-长沙 硕士学历
中科云谷科技有限公司
2026-07-29
嵌入式软件开发工程师
20.8-33.3K
湖南-长沙 硕士学历
中科云谷科技有限公司
2026-07-29