【岗位职责】
核心职责(按职级由深到浅)
1. 工艺开发与量产维护(全员核心)
负责 Si/SiGe/III‑V 外延(EPI)工艺 开发、参数优化、窗口建立与稳定化。
承接 14nm/7nm / 特色工艺(FinFET、BCD、功率器件) EPI 层工艺定义与验证。
制定 / 更新 SOP、BKM、FMEA、控制计划,主导工艺能力分析(Cpk/Ppk)。
日常监控 膜厚、均匀性、掺杂、缺陷、应力、晶格质量,保证批次稳定性与良率。
快速处理 量产异常(lot hold、defect excursion、电性漂移),主导 RCA、制定并跟踪改善措施。
2. 良率提升与技术攻坚(42 级重点;43/44 级主导)
针对 EPI 缺陷(颗粒、位错、层错、表面粗糙度、外延层厚度不均) 进行根因分析与改善。
与 PIE、设备、量测、蚀刻、薄膜等模块协同,解决 器件电性、漏流、击穿、可靠性 相关 EPI 问题。
推动 DOE、统计制程控制(SPC)、工艺窗口拓宽、cost down 项目。
负责 新设备 / 新腔体验证、新材料导入、新工艺评估,输出技术报告与风险评估。
3. 团队管理与资源协调(43/44 级)
制定团队工作计划、排程、绩效评估、技能培训与梯队建设。
主导 EPI 产能规划、机台利用率提升、人力 / 设备资源协调。
跨部门对接:PIE、质量、设备、采购、研发、客户,推动问题闭环与项目交付。
负责 技术文档、专利、经验沉淀,组织内部分享与技术评审。
4. 安全、合规与持续改善(全员)
严格执行 EHS、ESG、无尘室规范,杜绝安全事故与污染事件。
参与 内审、客户稽核、体系审核(ISO9001/14001/45001) 准备与整改。
推动 6S、可视化、标准化、精益生产,提升现场效率与管理水平。
【任职要求】
任职要求(42–44 级统一框架,逐级加码)
1. 学历与专业
• 硕士及以上,微电子、半导体物理、材料、化学、电子工程等相关专业。
• 44 级可放宽至优秀本科 + 10 年以上 EPI 经验。
2. 经验要求(关键)
• 42 级(资深工程师):3–5 年 12 寸 FAB EPI 工艺经验,熟悉 Si/SiGe 外延,有 FinFET/BCD 量产经验优先。
• 43 级(主管):5–8 年 EPI 经验,2 年以上带团队,主导过良率提升 / 异常攻关项目。
• 44 级(高级主管 / 经理):8 年以上 EPI 经验,3 年以上管理经验,熟悉先进制程 EPI 开发与量产管理。
3. 硬技能
• 精通 EPI 外延原理、设备(ASM/Epsilon、Veeco、Applied Materials)、工艺参数、量测(SEM、AFM、XPS、椭偏、四探针)。
• 熟悉 半导体器件物理、FinFET/FD‑SOI / 功率器件 EPI 结构。
• 熟练 DOE、SPC、RCA、8D、FMEA 等质量与改善工具。
• 熟练 Excel、Minitab、JMP、CAD、MES 系统。
• 英语读写流利,可阅读英文资料、撰写报告、简单口语沟通。
4. 软素质
• 极强的 问题分析、逻辑推理、数据驱动决策 能力。
• 抗压强、能 夜班 / 轮班、适应无尘室环境。
• 优秀的 跨部门沟通、团队协作、项目推动 能力。
• 严谨、负责、保密意识强、结果导向。
【岗位备注】
见岗位职责
【目标公司】
暂无