【岗位职责】
1. 全厂量测设备技术统筹与疑难故障攻关(专家核心职责)
统筹 CDSEM、OVL、OCD、膜厚、X-Ray、AFM、缺陷检测等全系列量测设备硬件体系;主导跨机台、跨站点重大疑难故障根因分析,输出 8D/RCA 永久改善方案,解决量测漂移、成像异常、腔体真空、电子枪、光学系统、机械手、真空冷却、高压电源等复杂硬件问题,降低 MTTR、提升 MTBF 与机台稼动 Uptime。
搭建 MMT 设备故障知识库、Lesson Learn 体系,统一全厂故障处置标准,杜绝重复批量停机、量测数据失准引发工艺报废。
依托 FDC/SPC 实时监控量测设备光学、电子、真空、温湿度关键硬件参数,建立硬件漂移预警机制,提前规避量测精度偏移、GRR 失效、Cpk 下滑问题。
2. 新产线 / 新机台整体导入、规划与验收管理
牵头新厂房量测区域 Layout 规划、设备落位、Subfab 配套(真空、纯水、废气、供电)方案设计;统筹新机 RFQ 技术评估、进厂拆箱、装机 SETUP、硬件 Qual、量产移交全流程管控。
主导新机型、新原理量测设备性能验证,制定设备硬件验收标准、稳定性测试方案,对标先进制程(FinFET / 特色 CIS / 存储)量测精度、吞吐量 WPH 需求。
统筹多站点设备产能平衡、自动化 AMHS 对接、全自动量测流程改造,优化 Lot 周转、缩短 Cycle Time。
【任职要求】
(一)基础学历与背景
全日制本科及以上,机械、自动化、电子光学、微电子、应用物理、测控仪器、材料物理;先进线专家优先硕士学历。
英语四级及以上,可独立阅读英文设备原理图、原厂维修手册、技术规格,具备英文对接供应商沟通能力。
可长期适应百级无尘车间,接受 7×24 应急值班、轮班抢修,能承受多项目并行高压。
加分证书:低压电工证、光学仪器校准、辐射安全培训证书、CAD/SolidWorks 制图。
(二)专业经验硬性门槛(专家岗核心)
年限要求:5 年以上 12 寸晶圆 Fab 量测设备完整运维经验,或 10 年以上半导体设备综合经验,具备量测模块技术统筹经验。
机台全覆盖能力:精通至少两类以上主流量测设备硬件原理与深度维修:
电子束类:CD-SEM、Review SEM、Overlay 套刻量测机台;
光学类:OCD 散射仪、椭偏膜厚、AFM 原子力显微镜;
X 射线分析:XRF/XRD/XPS 薄膜成分、应力量测;
缺陷检测:Inline 颗粒 / 缺陷扫描设备。
项目履历硬性要求(至少具备 2 项以上)
主导 12 寸新产线量测设备整体装机、验收、量产导入项目;
牵头核心备件国产化 / 去 A 化完整验证落地,有量化降本成果;
主导重大设备疑难故障攻关,输出全厂推广的改善方案;
搭建 / 优化全厂 MMT PM 体系、FDC 监控、设备 Defence 管控体系;
统筹科室设备预算、维保供应商管理、年度成本改善项目。
工具能力:熟练使用 8D、5Why、鱼骨图、DOE 做问题根因分析;掌握 SQL/Python 做设备海量数据统计分析;看懂电气、真空、光学系统图纸。
(三)核心加分项(中芯优先录用)
中芯、华力、华虹、长鑫 12 寸原厂量测设备资深 / 主管履历;
28nm 及以下 FinFET 先进制程量测设备运维、NPI 导入经验;
国产量测设备(精测、睿励、东方晶源等)装机、验证、量产适配经验;
熟悉 X 射线辐射、电子枪高压、真空腔体、精密光学系统深度维修;
具备设备团队管理、技术培训、科室指标统筹管理经验;
参与 FDC/RTD/MES 量测数据自动化监控系统搭建优化。
【岗位备注】
见岗位职责
【目标公司】
暂无