优先画像

① 微纳工艺经验≥5 年，MEMS 相关工艺经验≥2 年，熟悉 MEMS 器件制备工艺流程；
② 精通 PVD、CVD 各类镀膜，可以独立开发镀膜 recipe；
③ 硕士及以上学历 5 年以上工作经验，微电子、机械或 MEMS 相关专业毕业;
④ 熟悉薄膜应力

工作职责

① 负责 MEMS 开关工艺过程中绝缘层膜层击穿工艺实验验证，制备适合开关需求的绝

缘层膜层，满足开关高耐压性特点；

② 负责 MEMS 开关工艺过程中牺牲层制备与调试，解决牺牲层镀膜粘附性、均匀性等

可靠性问题，调试牺牲层释放工艺，通过 DOE 验证可靠的牺牲层释放工艺；

③ 负责 MEMS 开关工艺中各膜层之间黏附层选择，解决镀膜质量问题，解决膜层之间

以及工艺之间的相互兼容问题；

④ 负责新膜层工艺开发，如 Ru、RuO2、Ta、Ta2O5等金属及其氧化物的镀膜调试，并

应用在 MEMS 开关工艺中；

任职资格

① 微纳工艺经验≥5 年，MEMS 相关工艺经验≥2 年，熟悉 MEMS 器件制备工艺流程；

② 精通 PVD、CVD 各类镀膜，可以独立开发镀膜 recipe；

③ 硕士及以上学历 5 年以上工作经验，微电子、机械或 MEMS 相关专业毕业;

④ 熟悉薄膜应力、纯度、介电强度、XRD/AFM/SEM 分析

3、 加分项

① 有 Ru、RuO2、Ta、Ta2O5等镀膜经验；

② 有干、湿法刻蚀经验；

③ 熟悉各种绝缘膜层特性，有微悬臂制备工艺经验，有 CMP 经验；